南大光电在互动平台表示,公司的ArF(193nm)光刻胶研发工作正在顺利推进中,已建成1500平方米的光刻胶研发中心以及百升级光刻胶中试生产线;此外,公司生产的MO源和特气产品部分可用于5G通讯行业产品。