2020年3月5日,英特尔公布一年一度的供应商奖,在37家获奖公司中,有一家来自日本的企业Lasertec Corporation。
Lasertec于1960年成立,虽然看上去是没什么名气的“小公司”,但却是世界上唯一一家为极紫外光刻(EUV光刻)制造测试设备的公司。
光刻是半导体芯片制作IC制造中的核心环节,这一过程不仅决定了芯片的性能水平,其支出也占到了整个制造工艺中的一大部分。目前EUV光刻机是最先进的芯片制造设备。
西南证券2018年年底的一篇行业深度报告介绍:
前四代光刻机使用都属于深紫外光,ArF已经最高可以实现22nm 的芯片制程,但在摩尔定律的推动下,半导体产业对于芯片的需求已经发展到14nm,甚至是7nm,浸入式光刻面临更为严峻的镜头孔径和材料挑战。第五代EUV光刻机,采用极紫外光,可将最小工艺节点推进至7nm。
尽管工艺先进,但是EUV技术也面临着技术难点。
中国半导体行业协会官网介绍,除了光源产生难、发光过程难、成本高等挑战外,EUV光刻机必须在超洁净环境中才能运行,一小点灰尘落到光罩上就会带来严重的良品率问题,这对缺陷检验等都提出了很高的要求。
作为一家做光罩缺陷检验的公司, Lasertec已在2017年制造出了能够检测空白EUV光罩内部缺陷的机器;去年9月,该公司又生产出了能够对已经印有芯片设计的光罩做同样检测的机器。
此外,无论是财报还是股价上,也反映出了对于Lasertec产品的大量需求。
最新公布的财报显示,截至3月31日的9个月,公司净销售额为256亿日元,同比增长19.2%;营业利润为88.64亿日元,同比增长54.4%;归属于母公司股东的净利润为63.1亿日元,同比增长46.9%。
此外, Lasertec还上调了2020年财年的订单总额预期至850亿日元,较2月预计的700亿日元搞出了150亿日元。预期上调主要得益于EUV相关系统的强劲需求,预计2020财年半导体相关产品订单额为760亿日元,较2月份预期上调了155亿日元。
股价上,今年以来,Lasertec已经累计上涨62%;过去一年的累计涨幅达到了近370%。如果把时间线再拉长,从2019年年初开始,该公司股价涨幅已经达到570%。