阿斯麦的研究人员表示，他们已找到一种方法，可以大幅提升关键芯片制造机器的光源功率，从而在2030年前将芯片产量提高多达50%。“这并非噱头，也不是那种只能维持极短时间演示的把戏，”ASML的极紫外（EUV）光源首席技术官迈克尔·珀维斯（Michael Purvis）表示。“这是一个能在满足客户所有实际需求的情况下，稳定产生1,000瓦功率的系统，”他在公司位于加州圣迭戈附近的设施中补充道。（路透）
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