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滨化集团核心业务取得重大突破:高纯氟化氢气体品质达到6N等级,超高纯电子级氢氟酸项目产品指标优于SEMI-G5级

7月19日,滨化集团在高端半导体材料领域迎来双重里程碑——两项核心业务取得重大突破,标志着公司在“科技驱动,向上突围”战略征程上迈出关键一步。

上午,北鲲计划——滨化集团电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会举行。高纯氟化氢气体是半导体晶圆制造中干法蚀刻、腔体清洁等关键工艺的核心电子特气。滨化集团产品品质达到6N等级(99.9999%),填补了山东省高纯氟化氢产能空白。

同时,由中国化工学会组织的“半导体先进制程用超高纯电子级氢氟酸关键技术与应用”项目成果评价会在滨化集团举行。专家组经过全面评审,一致认为该项目关键技术及产品指标达到国际先进水平。

超高纯电子级氢氟酸项目是山东省重点研发计划(重大科技创新工程)项目,由滨化集团联合天津大学共同完成。项目团队成功攻克氢氟酸纯化、高效吸附及清洗充装关键装备等技术瓶颈,实现连续化、规模化、稳定化生产。产品指标优于SEMI-G5级,已顺利导入14nm先进制程半导体终端客户,品质和稳定性获得行业头部企业认可。(新华网

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