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上海精测半导体第100台电子束量检测设备出货

7月27日,上海精测半导体第100台电子束量检测设备出货。据悉,高端电子束量检测设备作为半导体前道制造的核心关键装备,核心技术、市场份额长期被海外巨头垄断。(证券时报)

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