天眼查显示，近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司完成工商变更，注册资本由约6.26亿人民币增至约9.58亿人民币，增幅约53%。中微半导体设备（上海）股份有限公司成立于2004年5月，法定代表人为尹志尧，经营范围包括研发、组装集成电路设备、泛半导体设备和其他微观加工设备及环保设备，提供技术咨询、技术服务等。
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