ASML及其光学合作伙伴Carl Zeiss的工程师在一篇经同行评审的论文中表示,作为ASML最先进芯片制造设备 ASML.AS 的继任者,新一代设备预计将在约10年内问世。论文称,这款被命名为“Hyper NA”的设备将在大量复用两家公司现有技术的同时,实现更精细的电路图案化,尽管仍面临诸多挑战。ASML已开始研发该设备,但尚未承诺投入生产。该设备不仅关乎该公司未来的发展前景,也关系到其合作伙伴和竞争对手的前景。
ASML及其光学合作伙伴Carl Zeiss的工程师在一篇经同行评审的论文中表示,作为ASML最先进芯片制造设备 ASML.AS 的继任者,新一代设备预计将在约10年内问世。论文称,这款被命名为“Hyper NA”的设备将在大量复用两家公司现有技术的同时,实现更精细的电路图案化,尽管仍面临诸多挑战。ASML已开始研发该设备,但尚未承诺投入生产。该设备不仅关乎该公司未来的发展前景,也关系到其合作伙伴和竞争对手的前景。