中微公司Q3营收同比增长50.62%，净利润同比增长27.5%。业绩增长主要受核心刻蚀设备业务稳健增长及薄膜设备收入爆发式增长的推动。2025年前三季度，LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长约1332.69%。
29日，中微公司发布2025Q3财报：
- Q3单季营收31.02亿元，同比增幅达50.62%。
- 净利润5.05亿元，同比增长27.5%。
营收加速增长，薄膜设备成新引擎
财报数据显示，中微公司的营收增长动力来源广泛。2025年前三季度，公司总营收达到80.63亿元，较去年同期增长46.40%。其中，作为公司基石业务的刻蚀设备收入为61.01亿元，同比增长38.26%，保持稳健增长。
更为引人注目的是薄膜设备业务的突破性进展。报告期内，包括LPCVD和ALD在内的薄膜设备收入达到4.03亿元，同比激增1332.69%。公司在财报中表示，多款用于先进存储和逻辑器件的薄膜设备已顺利进入市场，性能达到国际领先水平。
研发投入激增，利润增长承压
在营收高增长的背景下，中微公司选择了加大对未来的投资。2025年前三季度，公司研发支出高达25.23亿元，同比增长63.44%，研发投入占营业收入的比例达到31.29%，远高于科创板平均水平。公司表示，此举是“由于市场对中微开发多种新设备的需求急剧增长，为尽快补短板，实现赶超，为持续增长打好基础”。
前三季度，公司归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为8.87亿元，同比增长9.05%，增速低于营收和归母净利润的增速。财报解释称，这主要是由于毛利增加8.27亿元的同时，研发费用也增加了8.80亿元。此外，公司前三季度计入非经常性损益的股权投资收益为3.29亿元，是推动归母净利润实现32.66%增长的重要因素之一。
技术突破显著，高端产品放量
根据公告，中微公司在先进逻辑和存储器件制造的关键工艺方面取得显著进展，多款高端产品的新增付运量显著提升。
在刻蚀设备领域，用于关键刻蚀工艺的CCP单反应台介质刻蚀产品保持高速增长，60比1超高深宽比的介质刻蚀设备已成为国内标配，而下一代90比1超高深宽比设备也即将进入市场。同时，ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得良好进展，加工精度和重复性已达到单原子水平。
此外，公司的硅和锗硅外延EPI设备已运付客户端进行量产验证，并获得高度认可。公司表示，研发新产品的速度已显著加快，过去需要三到五年的开发周期现在缩短至两年或更短，有望在未来几年加速大规模推出多种新产品。
回购专用证券账户拟减持不超0.33%股份
中微公司公告称，公司回购专用证券账户计划通过集中竞价方式减持不超过209.63万股已回购股份，占公司总股本的0.33%，减持期间为2025年11月20日至2026年2月19日。
减持原因为完成回购股份的后续处置，符合《回购报告书》约定用途。减持所得资金将用于补充公司日常经营所需流动资金。当前该账户持股数量为209.63万股，持股比例0.33%，股份来源为集中竞价交易取得。
