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【Gigaphoton发布世界上最大输出级的KrF激光器G45K】近日,半导体光刻光源制造商Gigaphoton株式会社宣布,自2019年3月开始出产世界上最大输出级KrF激光器G45K,它将有助于进一步提高最尖端存储芯片的生产效率。据了解,Gigaphoton的KrF激光器G45K输出功率达到50W,比传统型号提高了25%以上,使得最尖端的存储芯片能够实现更高效率的生产。
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