【国内首创,京仪装备研发出高速集成电路制造晶圆倒片机】北京京仪自动化装备技术有限公司自主研发出了高速集成电路制造晶圆倒片机,每小时300片以上的倒片速度指标达国际先进水平,成为国内首创的高速集成电路制造晶圆倒片机,可用于14纳米集成电路制造,打破了国际垄断。(北京商报)注:韦尔股份、至纯科技、赛微电子等间接持股北京京仪自动化装备技术有限公司。