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【晶瑞股份:公司顺利购得ASML XT 1900Gi型光刻机一台】晶瑞股份公告,经公司多方协商、积极运作,顺利购得ASML XT 1900Gi型光刻机一台,该设备可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶。该设备于2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。下一步,公司将积极组织相关资源,尽快完成设备的安装调试工作。

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