【清华首次验证“稳态微聚束”原理，有望助力光刻机自主研发】从清华大学获悉，2月25日，清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心以及德国联邦物理技术研究院的合作团队在《自然》（Nature）上发表了题为《稳态微聚束原理的实验演示》的研究论文，报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”（SSMB）的首个原理验证实验。唐传祥表示，基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的‘卡脖子’难题。（澎湃）