【临港新片区:到2025年EDA工具、光刻胶、大硅片等关键“卡脖子”技术产业化取得突破】《中国(上海)自由贸易试验区临港新片区集成电路产业专项规划(2021-2025)》印发。规划提出,到2025年,集成电路产业规模突破1000亿元,芯片制造、装备材料主导地位进一步加强,芯片设计、封装测试形成规模化集聚。到2025年,先进工艺、成熟工艺、特色工艺进入国际前列,EDA工具、光刻胶、大硅片等关键“卡脖子”技术产业化取得突破,2种以上关键装备进入全球领先制造企业采购体系。
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