上海新阳:参股公司芯刻微成功中标并购得ASMLXT1900Gi型二手光刻机一台,该设备可用于研发分辨率达28nm的高端光刻胶。3月11日,芯刻微公司向盛吉盛支付10%首期货款购入该光刻机,剩余90%六个月内付清。后续公司将启动设备的运输及相关安装调试等工作。
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