ASML位于德国柏林的一处工厂于当地1月3日发生火警，据了解，该厂区主要制造光刻机中所需的光学相关零部件，例如晶圆台、光罩吸盘和反射镜，其中用以固定光罩的光罩吸盘处于紧缺状态。目前该厂零部件以供应EUV机台较多，且以晶圆代工的需求占多数。若届时因火灾而造成零部件交期有所延后，不排除ASML将优先分配主要的产出支援晶圆代工订单的可能性。根据集邦咨询掌握的消息，ASML所需的零部件亦不排除透过其他厂区取得，加上目前EUV设备交期相当长，因此，实际对EUV供应的影响仍有待观察。
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