上海交大胡开明：探索新型柔性微纳加工技术，助力破解光刻难题

上海交通大学机械与动力工程学院副教授胡开明日前表示，柔性微纳制造技术是当下国家极端制造重大战略需求的关键技术，未来信息芯片、新型装备、光电器件均有赖于该源头性基础技术。今年8月，胡开明入选“上海科技青年35人引领计划”获奖名单，他所从事的“光激励下表面失稳结构控形控性研究”可发展为一种既非减材制造也非增材制造的新型柔性微纳加工技术，为我国突破光刻技术封锁提供了新的技术路线。（澎湃新闻）