至纯科技：2022年半导体制程设备新增订单同比增60.71%

至纯科技公告，公司2022年度业务保持稳步增长，新增订单总额为42.19亿元，同比增长30.62%，其中半导体制程设备新增订单18亿元，同比增长60.71%。