半导体板块快速反弹，光刻机、光刻胶方向领涨，蓝英装备、上海贝岭、凯美特气涨停，芯源微涨超10%，富乐德、台基股份、晶方科技涨超5%，全志科技、华海清科、华亚智能、拓荆科技等跟涨。