台积电：仍在评估High-NA EUV，采用时间未定

台积电海外营运资深副总经理暨副共同营运长张晓强表示，仍在评估High-NA EUV应用于未来制程节点的成本效益与可扩展性，目前采用时间未定。A16制程将于2026年下半年量产，可能不会采用high-NA EUV设备。（台湾电子时报）