光刻机、光刻胶概念股开盘大涨，同飞股份、海立股份、张江高科竞价一字涨停，蓝英装备高开超10%，东方嘉盛、国林科技、京华激光等均大幅高开，消息面上，工信部印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》，其中在电子专用装备目录下，集成电路生产装备包括氟化氩GKJ，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。