【七星电子深硅刻蚀设备成功进入海外生产线】近日， 由七星电子全资子公司北方微电子自主研发的8英寸深硅等离子刻蚀机HSE200L正式进入马来西亚SilTerra公司，为其提供 MEMS和Power De... 【七星电子深硅刻蚀设备成功进入海外生产线】近日， 由七星电子全资子公司北方微电子自主研发的8英寸深硅等离子刻蚀机HSE200L正式进入马来西亚SilTerra公司，为其提供 MEMS和Power Device等工艺制程的解决方案。（证券时报）
