刻蚀与薄膜双轮驱动，中微公司交出了一份亮眼的成绩单。
中微半导体设备（上海）股份有限公司于2026年4月27日披露2026年第一季度报告。报告期内，公司实现营业收入29.15亿元，同比增长34.13%，延续了过去14年年均增速超35%的高增长态势。归属上市公司股东的净利润达9.30亿元，同比猛增197.20%，折合基本每股收益1.48元，较去年同期的0.50元大幅跳升。
然而，利润端的"三位数增长"并非全部来自主业。若剥离出售拓荆科技股份所贡献的约3.97亿元税后净收益，扣除非经常性损益后的归母净利润为4.78亿元，同比增长60.09%——这一数字更能真实反映公司核心业务的盈利能力。尽管如此，60%的扣非增速本身依然强劲，背后是公司刻蚀设备量产规模持续扩大、薄膜设备新品线高速放量的双轮驱动。
值得关注的是，经营活动现金流由去年同期的3.77亿元正值大幅转负至-1.59亿元，主因系业务高速扩张背景下，采购备货及人员薪酬支出同步放大，揭示出公司仍处于大规模投入扩产的爬坡阶段。与此同时，研发支出再创新高，单季度投入9.08亿元，占营收比例高达31.14%，远超科创板上市公司均值，显示出公司以"以研发换未来"的战略定力。
营收高增：先进刻蚀量产提速，薄膜设备成新引擎
营业收入34%的同比增速，核心驱动力来自两条主线。
刻蚀设备方面，公司针对先进存储器件的超高深宽比（UHAR）刻蚀工艺持续突破。目前，完全自主开发的超高深宽比刻蚀机已有逾300台反应器在客户端实现稳定大规模量产；下一代90:1超高深宽比低温CCP刻蚀设备已付运客户验证，公司宣称已全面覆盖存储器刻蚀应用中的各类超高深宽比需求。
在ICP产品线上，第二代产品PrimoAngnovaTM在3D DRAM应用中实现了140:1的刻蚀结果，并付运至国内领先存储客户认证。此外，全新化学气相刻蚀设备PrimoDomingoTM实现超700:1的SiGe/Si高选择比，在GAA及3D DRAM关键工艺验证中表现优异，多项工艺指标达到行业领先水平。
薄膜设备方面，这一新业务线已成为公司业绩增长最重要的变量。公司2025年全年薄膜设备营收同比大幅增长约224%，高起点之上2026年一季度仍在快速增长。LPCVD、ALD、EPI、PVD CuBS、PECVD等多款产品在先进存储和逻辑市场加速渗透。其中，面向金属栅应用开发的ALD系列产品性能已达国际领先水平，并表现出更高的生产效率；减压EPI设备已在成熟制程客户端验证成功，部分先进工艺进入量产验证阶段。
利润质量：一次性收益撑起近半增量
本季度归母净利润同比大增6.17亿元，但其中近4亿元源自出售拓荆科技股票。从非经常性损益明细来看，非流动资产处置损益贡献4.67亿元税前收益，扣税后净收益约3.97亿元，占净利润总额约43%。
这意味着，若扣除这笔一次性收益，公司核心业务净利润约为5.33亿元，对应的同比增速将回落至约70%——依然优秀，但与标题数字所呈现的"近200%增速"存在明显落差，投资者需理性看待。
扣非净利润60%的增速来源则相对"干净"：营收扩张带动毛利增加约2.60亿元，同期销售费用增加0.28亿元、研发费用增加0.34亿元，费用端的增加幅度小于毛利增量，体现出一定的经营杠杆效应。
现金流：经营活动告负，研发与资本开支双双加码
本季度经营活动现金流净额为-1.59亿元，去年同期为正的3.77亿元，同比骤降142%。公司解释称，主要系业务持续增长背景下，购买商品和接受劳务支付的现金（约19.88亿元，同比增加约2.9亿元）以及员工薪酬支出（6.36亿元，同比增加7200万元）同步上升所致。这与存货仍维持在72.59亿元的高位、应收账款从19.87亿元攀升至25.66亿元的态势相吻合，反映出业务扩张期的典型特征。
投资活动方面，公司单季度资本化研发开支高达3.42亿元（去年同期1.57亿元），反映在资产负债表上，开发支出科目较年初增长约3.67亿元至19.02亿元，是固定资产投入之外又一重要的研发资本化沉淀。固定资产+在建工程合计约38亿元，在建工程较年初大幅增加1.45亿元，产能扩建步伐并未放缓。
筹资活动产生现金流入4.91亿元，主要来源于吸收投资（员工持股或股权激励行权相关的资本注入）。
MOCVD：巩固氮化镓优势，拓展功率器件与MicroLED新赛道
在化合物半导体设备领域，中微公司持续保持国际氮化镓基MOCVD市场领先地位，并积极向SiC/GaN功率器件、Micro-LED等新兴应用延伸。本季度，四款MOCVD新产品——包括SiC和GaN功率器件MOCVD、MicroLED专用GaN MOCVD及红黄光LED用GaAs MOCVD——均已进入客户端验证阶段，部分已收到批量订单，商业化节奏加快。
资产负债：净资产稳健扩张，股东结构稳定
截至2026年3月31日，公司总资产312.70亿元，较年初增长4.77%；归属母公司净资产243.09亿元，增长7.11%。资产负债率仅为22.17%，财务结构保持稳健。
加权平均净资产收益率为4.00%，较去年同期提升2.43个百分点，但绝对水平仍偏低，后续能否随盈利能力的持续释放而提升，将是市场观察的重要指标。
股东结构方面，前三大股东——上海创业投资（13.93%）、香港中央结算（10.53%）、巽鑫（上海）投资（10.22%）——合计持股超34%，股权相对集中。国家集成电路产业投资基金二期通过华芯投资持股3.49%，国家队背书意义明显。
